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二氧化硅氣凝膠的制備中主要采用正硅酸乙酯（TEOS）、正甲基硅烷（TMOS）或水玻璃等作為硅源，溶膠-凝膠過(guò)程中通過(guò)硅源物質(zhì)的水解和縮聚獲得具有三維網(wǎng)絡(luò )結構的氧化硅凝膠，以TEOS為例，其反應原理如下：

水解過(guò)程中可以看到-（OC2H3）基團被-OH取代。同時(shí)縮聚和脫水過(guò)程中也在進(jìn)行，反應形成1個(gè)水分子，水解出的Si（OH）4懸浮在混合液中，通過(guò)縮聚和脫水形成彼此交聯(lián)的直徑約為4nm的膠體粒子